探針臺
Probe Stations
低維材料
2D Material Transfer Platform
光電測試系統(tǒng)
Optoelectronic test system
光學平臺與光學面包板
Optical platform and breadboard
光波導(dǎo)耦合系統(tǒng)
Optical waveguide coupling system
光源
Light Source
OCT 成像系統(tǒng)
OCT Imaging System
光電探測與分析
Beam Measurement and Control
顯微觀察
Microscopic observation
運動控制
Motion Control
教學/科研光路系統(tǒng)
Scientific optical path system
微納材料表征測試服務(wù)
Other equipment and software
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控溫范圍可達-142℃-600℃；
控溫精度可達±1℃，顯示精度1℃，溫度均勻性±3℃；
極限真空度優(yōu)于4*10-1@機械泵，極限真空度優(yōu)于3*10-4Pa@分子泵組；
探針位移行程40mm，分辨率3μm；
三同軸探針夾具，漏電精度100fA；
配置氣浮隔振平臺，固有頻率：1.2Hz～1.8Hz；
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料、納米器件、超導(dǎo)材料、鐵電材料等領(lǐng)域的研究與開發(fā)；
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